ユニット型空気ばね式除振装置MKBシリーズ
大荷重の精密機器の除振を低コストで実現します。
空気ばね、オイルダンパー、レベル維持センサーが一体になったコンパクトで大荷重に対応するユニット型除振装置です。全モデルの高さを155mmに統一しているので、フレキシブルな組合わせの対応可能です。オイルダンパーが標準でついているので可動部がある装置の揺れも迅速に収束します。
- パッシブ
適用分野
- 光学・レーザ実験
- 計測・計量機器
- 半導体製造・精密加工
- ユニットタイプ
概要・特長
外観図
仕様
- 主な仕様
| 型式 | MKB-0390 | MKB-0590 | MKB-0930 | MKB-1500 |
|---|---|---|---|---|
| 固有振動数 | 垂直：3.5～4.3Hz / 水平：3.0～3.8Hz | |||
| 除振方式 | 空気ばね | |||
| 制振方式 | オイルダンパー | |||
| レベル維持方式 | 自動レベル維持機構（復帰精度±100μm） | |||
|
機体寸法 W×D×H(mm) | 225×225×155 | 270×270×155 | 340×340×155 | 400×400×155 |
|
機体質量(kg) [空気ばね1個] | 19 | 30 | 45 | 61 |
|
搭載可能質量(kg) [空気ばね4個使用時] | 3800 | 5900 | 9300 | 15000 |
| AxB(mm) | 200x200 |
210x210 240x240 |
250x250 308x308 |
300x300 368x368 |
| ΦC(mm) | 12 | 16 | 16 | 16 |
| 供給圧力 | 0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ） | |||
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