除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

数Hz程度の低周波振動の除振が必要な場合、固有振動数のあるパッシブ除振システムではなくアクティブ除振システムが適しています。
またステージの動きによる収束時間を短縮したい場合にもアクティブ除振システムが適しています。
ステージの質量や速度等により効果が異なりますので、収束時間に対するシミュレーションをご依頼ください。