空気圧制御式アクティブ除振装置MRZシリーズ
FPD製造装置等大型装置向アクティブ除振装置のロープライス化を実現しました。
多くの納入実績を持つMAPSシリーズ。その中でも特に要望の多かったMAPS-130,240の性能はそのままに、一から設計を見直しすることによりコストパフォーマンス向上を実現したMRZシリーズを開発・実用化しました。
- アクティブ
適用分野
- 計測・計量機器
- 半導体製造・精密加工
- ユニットタイプ
概要・特長
主な用途
FPD・半導体製造装置、電子顕微鏡・真空関連装置、測定機器、超精密加工機、etc.
6自由度アクティブ制御
垂直・水平の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプ
パッシブ除振では難しい帯域の振動も除振します。
アクティブ状態でFB+FloorFF制御を行います
FB:フィードバック制御系
FloorFF:床振動フィードフォワード制御系
StageFF:ステージフィードフォワード制御系(オプション)
「軽量・コンパクト」「低消費電力」「低価格」
ユニットの軽量・コンパクト化、消費電力の低減、ロープライスを実現しました。
特許取得済
特許第5457821号
仕様
- 主な仕様
- 振動伝達率
- 外形寸法図
| 型式/types | MRZ-120 | MRZ-200 | MRZ-330 | MRZ-520 |
|---|---|---|---|---|
|
搭載可能質量 [kg] (4ユニット使用時) | 500～1,500 | 1,500～4,400 | 4,000～12,800 | 10,000～32,000 |
|
機体寸法 W×D×H [mm] | 240x240x191 | 324x252x191 | 504x404x191 | 694x594x191 |
| ユニット質量[kg/個] | 25 | 34 | 60 | 110 |
| 供給空気圧[MPa] | 0.6～0.8(Clean dry air) | |||
|
定常空気消費量 [l/min] | 45～65 | 120～170 | ||
|
最大空気消費量 [l/min] | 120 | 300 | ||
| 電源電圧[V] | 100～240 (AC単相, 50/60Hz) | |||
| 最大消費電力[VA] | 120 | |||
| 周囲温度[℃] | 0～40 | |||
| 周囲湿度[%RH] | 35～85 | |||
| 除振・制振方式 | 空気圧制御による振動制御 | |||
|
コントローラ寸法 W×D×H [mm] | 435x300x118 | |||
| コントローラ質量[kg] | 7.5 | |||
MRZ外形寸法図
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