除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

  1. ユニット型空気ばね式除振装置 AP-MKCシリーズ

ユニット型空気ばね式除振装置AP-MKCシリーズ

可動部のある装置にも使用可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット

明立精機の永年の技術と経験により、両立は難しいと言われていた低固有振動数且つステージ等可動部にも対応するパッシブ除振ユニットを開発いたしました。高精度・高スループットを要求される製造装置に高コストパフォーマンスの除振装置を提供いたします。

  • パッシブ

適用分野

  • 計測・計量機器
  • 半導体製造・精密加工
AP-MKCシリーズ
  • ユニットタイプ

概要・特長

外観図

AP-MKC外観図

AP-MKC外観図

仕様

  • 主な仕様
型式AP-230MKCAP-270MKCAP-330MKC
固有振動数垂直:1.5~2.0Hz / 水平:1.0~1.5Hz
除振方式空気ばね
制振方式オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式自動レベル維持機構(復帰精度±100μm)
機体寸法
W×D×H(mm)
300×300×220320x320x220370×370×220
機体質量(kg)
[空気ばね1個]
465672
搭載可能質量(kg)
[空気ばね4個使用時]
6200860013000
AxB(mm)270x270290x290340x340
ΦC(mm)131313
供給圧力0.5MPa(空気源:コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ)

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