除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

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卓上型アクティブ除振システムMEシリーズ

6自由度アクティブ制御の卓上型除振システムです。

搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加える事で振動制御。
3次元(6自由度)でコントロールします。

  • アクティブ
卓上型アクティブ除振システムMEシリーズ
  • 卓上タイプ

概要・特長

6自由度アクティブ制御

搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加える事で振動制御。
3次元(6自由度)でコントロールします。

自動アクティブ調整&自動レベリング

アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化されます。

搭載物に左右されない除振性能

装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を落とさずご利用いただけるようになりました。

外形寸法図と除振性能

ME伝達率

仕様

  • 主な仕様
型式ME-0405ME-0506
システム形状卓上型
アクティブ制御範囲0.5Hz~100Hz(100Hz以上はパッシブ制御)
自動機構アクティブ制御調整、レベリング調整
ステータス前面LCDコントロールパネルに表示
搭載可能質量(kg)※18080
搭載面寸法(mm)430×530530×630
機体寸法(mm)※2432×532×93532×632×93
機体質量(kg)3142
ユーティリティ電源(100V-240V、AC単相、50/60Hz)
標準付属品取扱説明書、電源コード(3m)
オプション 搭載盤スチールハニカム光学定盤
 専用防音ボックス
 専用架台

※1均等荷重。
※2突起部は除く。

オプション

ハニカム光学定盤搭載可能(オプション)

搭載盤を高剛性スチールハニカム光学定盤に変更可能。
上面タップM6-25mmマトリクス、上面板着磁性ステンレスにより光学部品などを使用したシステム構築に柔軟に対応します。

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